- 臭氧和水ALD工藝中DMACl基Al2O3膜主體中元素濃度的比較
臭氧和水ALD工(gong)藝中DMACl基Al2O3膜(mo)主體中元素濃(nong)度的比(bi)較 DMACl-臭氧作(zuo)為(wei)ALD過程 在ALD工(gong)藝中，每周期(qi)生(sheng)長量(GPC)是描述(shu)薄膜(mo)生(sheng)長的重要參數。如果GPC在ALD生(sheng)長潛伏期(qi)后達到(dao)恒定值，則表明(ming)生(sheng) . . .
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