- 臭氧和水ALD工藝中DMACl基Al2O3膜主體中元素濃度的比較
臭(chou)氧和水ALD工藝中(zhong)DMACl基Al2O3膜(mo)(mo)主體中(zhong)元素濃(nong)度的比較 DMACl-臭(chou)氧作為(wei)ALD過程 在(zai)ALD工藝中(zhong),每(mei)周期生(sheng)長量(GPC)是描(miao)述薄膜(mo)(mo)生(sheng)長的重要參數。如(ru)果GPC在(zai)ALD生(sheng)長潛伏期后(hou)達到恒定(ding)值,則表明生(sheng) . . .
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